我國(guó)大功率垂直腔面發(fā)射激光關(guān)鍵技術(shù)獲突破
發(fā)布時(shí)間:2017-11-15
發(fā)光學(xué)及應(yīng)用國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室(發(fā)光室)大功率半導(dǎo)體激光器及應(yīng)用團(tuán)隊(duì)在高光束質(zhì)量大功率垂直腔面發(fā)射激光關(guān)鍵技術(shù)研究上取得重大突破,研究成果獲2015年度吉林省技術(shù)發(fā)明一等獎(jiǎng)。

垂直腔面發(fā)射激光器是2002年開(kāi)始逐漸發(fā)展起來(lái)的新一代半導(dǎo)體激光器,與常規(guī)邊發(fā)射半導(dǎo)體激光器相比具有光束質(zhì)量好,易于二維集成等優(yōu)點(diǎn),在激光通信、激光顯示、工業(yè)加工、國(guó)防應(yīng)用等領(lǐng)域有廣泛的應(yīng)用前景,成為國(guó)際前沿研究熱點(diǎn)。
發(fā)光室大功率半導(dǎo)體激光器及應(yīng)用團(tuán)隊(duì)在國(guó)防基礎(chǔ)科研、總裝支撐、國(guó)家基金重點(diǎn)、吉林省科技廳重點(diǎn)等多個(gè)項(xiàng)目的支持,重點(diǎn)開(kāi)展大功率、高光束質(zhì)量垂直腔面發(fā)射激光(VCSEL)研制工作,從材料結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)、器件結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)等方面提出一系列創(chuàng)新,在高功率激光研究方面已獲授權(quán)發(fā)明專利6項(xiàng),發(fā)表文章13篇,并創(chuàng)造了多項(xiàng)國(guó)際指標(biāo),取得以下主要結(jié)果:
提出用于VCSEL的周期增益量子阱結(jié)構(gòu)、非對(duì)稱波導(dǎo)等新設(shè)計(jì),研制出單管脈沖功率達(dá)92W創(chuàng)紀(jì)錄輸出;垂直腔面發(fā)射激光面陣功率達(dá)到123W,比國(guó)際記錄提高了13%;集成面陣模塊輸出功率達(dá)到210W。相關(guān)成果被《Laser Focus World》及《Semiconductor Today》等多次專文評(píng)論報(bào)道。所研制的高光束質(zhì)量大功率VCSEL在固體激光/光纖激光泵浦、光纖放大器泵浦、激光測(cè)距等領(lǐng)域得到了應(yīng)用,并被國(guó)內(nèi)多家用戶用于固體泵浦、激光引信、生物熒光探測(cè)等領(lǐng)域,為推動(dòng)相關(guān)技術(shù)發(fā)展奠定了扎實(shí)基礎(chǔ)。