長春新產(chǎn)業(yè)激光推出晶圓打標定制綠光/紫外激光器
在半導(dǎo)體行業(yè),尤其是晶圓制造的過程中,激光打標一直以來起著至關(guān)重要的作用,借助于這種非接觸式的刻印工藝,我們才能保證晶圓的穩(wěn)定可追溯性,以便在整個制造過程中進行追蹤。當(dāng)然,這也意味著激光標記必須時刻能夠被讀取,同時對工藝細節(jié)有著嚴格的要求,因為標記不能妨礙底層上的任何工藝,也不能對晶圓造成任何額外的損壞,必須讓整個打標流程處于完美狀態(tài)。當(dāng)然,這也讓用于晶圓打標的激光器面對著更大的挑戰(zhàn)。
晶圓打標
01 晶圓打標的方式
現(xiàn)階段針對晶圓的表面標記共有兩種不同的打標方式,一種是硬標記(Hard Mark),這是一種較為傳統(tǒng)的激光打標方案,通過激光燒蝕,直接在硅表面實現(xiàn)5um~150um深的刻蝕印記。
另外一種方案則是軟標記(Soft Mark),它可以被理解成一種淺退火標記工藝,通過改變激光器的波長和光學(xué)參數(shù),對晶圓表面進行精細的熱處理,這種方式不會對晶圓表面進行燒蝕,而是通過這種熱作用實現(xiàn)材料氧化從而改變表面顏色。軟標記對晶圓的表面影響非常小,標記深度可控制在5um以內(nèi),這種標記方式非常精準,且不會像硬標記一樣產(chǎn)生碎屑,能夠制作小于1mm字高的字符,所以軟標記目前在晶圓打標中非常流行。
軟標記(左) 硬標記(右)
02 晶圓打標的難點
與半導(dǎo)體制造中使用的其他材料(例如鍺和鎵)一樣,硅材料表面是對于激光標刻非常敏感。施加到材料表面的任何激光功率的微小變化都會導(dǎo)致標記外觀和一致性的差異。此外,將激光能量施加在離有源組件如此近的位置還可能會導(dǎo)致設(shè)備損壞。這就是為什么晶圓打標對于硬標記和軟標記深度的規(guī)格都具有非常嚴格的公差要求,而這種要求反饋到激光器上,則代表了對功率穩(wěn)定性,光束質(zhì)量的精益追求。
03 新產(chǎn)業(yè)激光晶圓打標定制光源
針對晶圓打標的特殊需求,新產(chǎn)業(yè)激光推出了特殊定制的綠光/紫外激光器,專門應(yīng)用于此打標場景。4小時功率穩(wěn)定性<0.5%,光束質(zhì)量M <1.1,經(jīng)過工藝測試,新產(chǎn)業(yè)激光的晶圓打標激光器在拋光Si晶圓表面以及鍍膜表面能夠?qū)崿F(xiàn)單點深度0.5um-5um范圍內(nèi)可控,單點直徑小于30um,長短軸比小于1.1的優(yōu)異效果。此產(chǎn)品不僅適用于Si和GaAs晶圓,同時也適用于SiC,GaN等復(fù)合晶圓,能夠根據(jù)需求,在各類晶圓材料上執(zhí)行軟標記(Soft Mark)或硬標記(Hard Mark)。
04 激光器質(zhì)量保障
在管理層面,新產(chǎn)業(yè)激光擁有全面的質(zhì)量管理團隊,從材料質(zhì)量控制-生產(chǎn)制程檢驗-入庫周轉(zhuǎn)管理-出貨質(zhì)量檢驗的整套質(zhì)量流程進行系統(tǒng)化管理,確保產(chǎn)品的一致性、可靠性及批量交付能力。
無塵車間
在硬件層面,新產(chǎn)業(yè)激光擁有120個百級凈化車間,總凈化車間面積2.6萬平,生產(chǎn)過程處于潔凈環(huán)境,不受外部污染。與此同時,CNI擁有包括光斑輪廓分析儀,功率計,光譜儀,波長計在內(nèi)的整套產(chǎn)品檢測設(shè)備,以及16個獨立的老化測試車間,從硬件上保障產(chǎn)品質(zhì)量及使用壽命。
老化車間
在核心部件管理上,新產(chǎn)業(yè)激光核心部件采用進口品牌,主要零配件與國內(nèi)一線品牌合作或公司自研,CNI擁有自主的機械加工車間以及鍍膜車間,能夠持續(xù)提供符合要求的高精度加工件以及各類高標準鍍膜鏡片,對激光器的質(zhì)量及批量一致性提供了可靠保障。
除晶圓打標激光器外,新產(chǎn)業(yè)激光還提供應(yīng)用于晶圓劃線,晶圓修復(fù)等晶圓制造行業(yè)的專業(yè)激光產(chǎn)品,新產(chǎn)業(yè)激光將以激光為工具,為半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展保駕護航。
來源:長春新產(chǎn)業(yè)激光
來源 : 長春新產(chǎn)業(yè)激光 發(fā)布時間 : 2021-12-09
炬光科技今日招股,募資10.1億元用于激光雷達、微光學(xué)等項目
炬光科技12月6日晚間披露招股意向書,本次公開發(fā)行新股數(shù)量2249萬股,發(fā)行數(shù)量占公司發(fā)行后總股本比例的25%。本次發(fā)行不涉及公司股東公開發(fā)售股份,發(fā)行后總股本為8996萬股,初步詢價時間為2021年12月10日。
炬光科技主要從事激光行業(yè)上游的高功率半導(dǎo)體激光元器件、激光光學(xué)元器件的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售,目前正在拓展激光行業(yè)中游的光子應(yīng)用模塊和系統(tǒng)的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售。2018-2020年,炬光科技營業(yè)收入分別為3.55億元、3.35億元、3.60億元,主營業(yè)務(wù)的毛利率分別為 41.77%、38.15%和 51.08%。
2021年半年報顯示,炬光科技的激光光學(xué)產(chǎn)品、半導(dǎo)體激光產(chǎn)品、汽車應(yīng)用(激光雷達)產(chǎn)品、光學(xué)系統(tǒng)產(chǎn)品、研發(fā)服務(wù)及加工服務(wù)等,占營收比例分別為:45.87%、43.32%、5.51%、3.21%、1.09%。
2021年度,公司預(yù)計歸屬于母公司股東的凈利潤6000-7000萬元,較2020年度增長72.07%-100.75%,扣除非經(jīng)常性損益后歸屬于母公司股東的凈利潤4400-5400萬元,較2020年度增長125.21%-176.39%。
此次,炬光科技擬募集資金10.1億元,主要用于炬光科技東莞微光學(xué)及應(yīng)用項目(一期工程)、激光雷達發(fā)射模組產(chǎn)業(yè)化項目、研發(fā)中心建設(shè)項目以及補充流動資金等。
據(jù)悉,炬光科技現(xiàn)已自主研發(fā)形成共晶鍵合技術(shù)、熱管理技術(shù)、熱應(yīng)力控制技術(shù)、界面材料與表面工程、測試分析診斷技術(shù)、線光斑整形技術(shù)、光束轉(zhuǎn)換技術(shù)、光場勻化技術(shù)(光刻機用)和晶圓級同步結(jié)構(gòu)化激光光學(xué)制造技術(shù)九大類核心技術(shù),包括美國、歐洲、日本、韓國等境外專利 108 項,境內(nèi)發(fā)明專利 117 項、實用新型專利 150 項和外觀設(shè)計專利 28 項。
目前,公司已進入全球最大半導(dǎo)體晶圓代工制造商臺積電的供應(yīng)鏈中,并正在拓展面向智能駕駛激光雷達(LiDAR)、智能艙內(nèi)駕駛員監(jiān)控系統(tǒng)(DMS)等汽車創(chuàng)新應(yīng)用場景的車規(guī)級核心能力。
來源:證券時報網(wǎng)
來源 : 證券時報網(wǎng) 發(fā)布時間 : 2021-12-07
再獲近9億元訂單!利元亨動力鋰電設(shè)備訂單爆發(fā)
12月1日,鋰電設(shè)備供應(yīng)商利元亨發(fā)布公告稱,公司中標蜂巢能源科技有限公司湖州一期、湖州二期、遂寧一期、遂寧二期、馬鞍山三期、南京二期、鹽城、上饒、金壇等基地鋰電設(shè)備項目,中標金額合計約8.76億元。
在二級市場,12月2日,利元亨股價307.23元,小幅上漲0.27%,最新總市值270.4億元。值得一提的是,今年7月1日,利元亨剛登陸科創(chuàng)板上市交易,截至目前累計漲幅60.28%。
中標蜂巢能源8.76元大單
實際上,今年以來,利元亨已多次中標蜂巢能源項目。2021 年 7 月公司中標蜂巢能源歐洲項目1633.99萬歐元(約合 1.25 億 元人民幣);8月公司中標蜂巢湖州等基地項目,合計約15.45億元。再加上本次中標的8.76 億元,2021年以來,利元亨與蜂巢能源新簽訂單合計25.46億元,約占公司2020年總營業(yè)收入的178%。
利元亨表示,本次中標有利于公司在新能源動力電池領(lǐng)域的業(yè)務(wù)拓展,提高公司收入規(guī)模及盈利能力,預(yù)計將對公司未來年度的經(jīng)營業(yè)績產(chǎn)生積極影響。
蜂巢能源作為動力電池新晉的“生力軍”,其發(fā)展勢頭相當(dāng)迅猛。2021年1-10月,蜂巢能源動力電池裝機量約1731.5MWh,同比增長680%,增速位居動力電池TOP10陣營第一。
與此同時,蜂巢能源正積極擴產(chǎn)。2020年末至今,蜂巢能源已在德國薩爾州(24GWh)、四川遂寧(20GWh)、四川成都(60GWh)、浙江湖州(20GWh)、安徽馬鞍山(28GWh)、南京溧水(15GWh)、江蘇常州金壇(40GWh)、江蘇鹽城(22GWh)設(shè)立基地,規(guī)劃新增產(chǎn)能達229GWh。
當(dāng)前,利元亨已經(jīng)與蜂巢能源建立了全球戰(zhàn)略合作關(guān)系,隨著蜂巢能源的大規(guī)模擴產(chǎn)項目落地,利元亨作為鋰電設(shè)備供應(yīng)商,或有望充分受益。
乘新能源春風(fēng),動力鋰電設(shè)備訂單爆發(fā)
公開資料顯示,利元亨成立于2014年,主要從事智能制造裝備的研發(fā)、生產(chǎn)及銷售,為鋰電池、汽車零部件、ICT 等行業(yè)的國內(nèi)外知名企業(yè)提供高端裝備和數(shù)智整廠解決方案。
鋰電池設(shè)備板塊(主要是消費類鋰電)的營收是利元亨的主要增長引擎。數(shù)據(jù)顯示,2018-2020年,利元亨鋰電池制造設(shè)備收入占比分別為90.01%、87.46%和84.03%。
近兩年,隨著新能源汽車產(chǎn)銷持續(xù)創(chuàng)新高,鋰電池行業(yè)需求量猛增,業(yè)內(nèi)掀起了一輪動力電池擴產(chǎn)大潮,而擴充產(chǎn)能意味著需要大量購買設(shè)備打造生產(chǎn)線,利元亨作為頭部鋰電設(shè)備廠商,有望率先“吃肉”。
2021年以來,利元亨動力鋰電設(shè)備訂單呈現(xiàn)爆發(fā)式增長。截至2021年8月25日,其鋰電在手訂單金額為45.54億元。其中動力類設(shè)備訂單27.84億元(含稅),占鋰電領(lǐng)域在手訂單61.13%,消費類鋰電在手訂單金額為17.70億元(含稅),占比39%。據(jù)東吳證券預(yù)計,利元亨2021全年新簽訂單約60億元,相當(dāng)于2020年收入的4倍。
在動力電池領(lǐng)域,利元亨還是比亞迪的優(yōu)選供應(yīng)商,同時已經(jīng)與寧德時代、國軒高科、欣旺達、力神、中航鋰電等全球知名廠商都建立了長期穩(wěn)定的合作關(guān)系。
東吳證券表示,受益于行業(yè)的高景氣度,利元亨動力鋰電設(shè)備訂單充足,看好后續(xù)動力鋰電設(shè)備放量,該業(yè)務(wù)或有望成為公司業(yè)績第二大增長引擎。
利元亨業(yè)績潛力大?
從業(yè)績表現(xiàn)來看,近些年,利元亨無論是營收還是凈利潤都保持較高增長。
財報顯示,公司營業(yè)收入由2016年的2.29億元增加至2020年的14.3億元,年復(fù)合增長率為58.1%;歸母凈利潤由2016年的0.13億元增加至2020年的1.40億元,年復(fù)合增長率為82.7%。
2021年前三季度,利元亨實現(xiàn)營收16.58億元,同比增長71.41%;歸母凈利潤1.569億元,同比增長71.36%。
針對業(yè)績的增長,利元亨表示,主要是近年來軟包消費鋰電池龍頭企業(yè)新能源科技產(chǎn)能擴張迅速,公司向其供貨的設(shè)備,包括新產(chǎn)品如電芯制造設(shè)備、新型電芯檢測設(shè)備等在本報告期內(nèi)得到其量產(chǎn)驗證,銷售收入增幅較大。
目前,利元亨積極拓展鋰電池全鏈條工藝設(shè),在鋰電領(lǐng)域已形成“專機+工段線(整線)+數(shù)智整廠解決方案”的布局。另外,公司還是國內(nèi)少數(shù)具備動力電池電芯裝配、電池模組組裝及箱體Pack整線智能成套裝備研發(fā)制造能力的廠商之一。
值得一提的是,在消費鋰電池領(lǐng)域,利元亨長期深度綁定全球消費鋰電池龍頭ATL(市占率全球第一),近年來,利元亨來自ATL的收入占比達70%。
據(jù)悉,ATL(新能源科技)與寧德時代擬設(shè)立兩家合資公司,投資總額140億元,按設(shè)備投資占60%進行估算,設(shè)備投資約84億元。隨著ATL與寧德時代合資公司的投資項目落地,有望給利元亨帶來可觀收益。
此外,利元亨在全球布局也卓有成效,公司自2014年開始與歐洲企業(yè)合作,長期海外客戶份額目標達30-40%。
不少機構(gòu)認為,從發(fā)展趨勢來看,鋰電設(shè)備行業(yè)已經(jīng)進入成長新周期,各鋰電池廠商正大力擴張產(chǎn)能,而設(shè)備公司具備稀缺性估值溢價,將隨著擴產(chǎn)高峰逐漸顯現(xiàn)。
上海證券表示,在大客戶加持以及技術(shù)與產(chǎn)能升級下,利元亨鋰電設(shè)備業(yè)務(wù)有望逐步打開發(fā)展空間。
來源:財華網(wǎng)
發(fā)布時間 : 2021-12-04