激光平整機(jī)助力智慧農(nóng)業(yè)發(fā)展
500畝土地，需要多少人耕種？
按照傳統(tǒng)農(nóng)業(yè)種植的方式，起碼上百人。而如今，在濱海新區(qū)灘河村唐家恂的智慧家庭農(nóng)場(chǎng)里，只需要3人便能輕松管理。
方便快捷
無人機(jī)助力智慧農(nóng)業(yè)
眼下正值春管的關(guān)鍵時(shí)節(jié)。4月17日上午，唐家恂家門前的麥田邊人頭攢動(dòng)、熱鬧非凡，原來是唐家恂新購(gòu)置的1臺(tái)無人機(jī)正在給小麥噴灑“三防”農(nóng)藥，吸引村民前來觀看。
唐家恂輕輕撥動(dòng)遙控桿，無人機(jī)螺旋槳開始快速旋轉(zhuǎn)，隨后緩緩上升，噴出的藥?kù)F均勻地灑在小麥上。僅10分鐘，10畝小麥田便噴灑完畢?！耙郧岸际潜持幭鋰姙⑥r(nóng)藥，不僅效率低，而且特別累，還容易對(duì)人體有傷害?，F(xiàn)在有了無人機(jī)，噴灑農(nóng)藥就變得簡(jiǎn)單安全多了?！碧萍意f。
唐家恂原是一名施工員，在看到土地流轉(zhuǎn)的發(fā)展前景后，毅然辭去工作，回家鄉(xiāng)承包了500畝土地種植小麥和水稻。唐家恂先成立了智慧家庭農(nóng)場(chǎng)，并專門去南京學(xué)習(xí)先進(jìn)種植技術(shù)?；貋砗?，唐家恂一改傳統(tǒng)種植“人海戰(zhàn)術(shù)”，采用機(jī)械化種田模式。他還考取了低空飛行物操作證，并在今年4月購(gòu)買了價(jià)值7萬元的大疆MG－1P－RTK農(nóng)藥噴灑無人機(jī)。“現(xiàn)在種田都是規(guī)?；?、機(jī)械化，我國(guó)也提倡智慧農(nóng)業(yè)，所以我也要與時(shí)俱進(jìn)，輕松種田?！碧萍意贿叢僮髦鵁o人機(jī)，一邊告訴記者。
“無人機(jī)能先自動(dòng)測(cè)量農(nóng)田面積大小，再自動(dòng)‘作業(yè)’，這樣方便我們配農(nóng)藥，不會(huì)出現(xiàn)農(nóng)藥浪費(fèi)或不夠的情況。而且無人機(jī)不重噴、不漏噴?！迸滢r(nóng)藥間隙，唐家恂告訴記者，人工自走式作業(yè)每畝需要15元，而無人機(jī)只需10元，受到很多種植大戶的歡迎。
據(jù)悉，按照傳統(tǒng)方式，一人一天只能完成10多畝的噴灑作業(yè)，病蟲害高發(fā)期，如人力不充足，根本忙不過來。無人機(jī)的效率則高出人工60倍，由于無人機(jī)螺旋槳產(chǎn)生的向下氣流加速形成氣霧流，因此增強(qiáng)了藥液霧滴對(duì)農(nóng)作物的滲透性，減輕了農(nóng)藥的飄移程度，每畝只需噴1公斤左右的藥液，且農(nóng)藥有效利用率提高了15％以上，遠(yuǎn)比人工防治效果好，為大面積農(nóng)作物病蟲害專業(yè)化統(tǒng)防統(tǒng)治提供了有力的支持。
現(xiàn)在，鹽城、東臺(tái)等周邊縣城陸續(xù)有種植大戶和唐家恂簽訂植保協(xié)議，目前訂單已達(dá)到5000畝?！拔疫€將購(gòu)置5臺(tái)無人機(jī)，保質(zhì)保量完成訂單?！?談及下一步打算，唐家恂雄心勃勃。
兩點(diǎn)一線
百畝良田平整有“幫手”
唐家恂的智慧家庭農(nóng)場(chǎng)里除了無人機(jī)，還有多種新型的機(jī)械，不僅供自己用，還為周邊農(nóng)戶提供租借服務(wù)，幫助農(nóng)戶節(jié)省人工費(fèi)用。
在田邊，記者看見唐家恂開著拖拉機(jī)拖著一臺(tái)“大家伙”緩緩而來。在調(diào)試機(jī)器間隙，唐家恂告訴記者，這臺(tái)“大家伙”是激光平整機(jī)，該機(jī)械包括發(fā)射器、接收器、控制箱、液壓機(jī)構(gòu)和鏟運(yùn)機(jī)。激光發(fā)射器通過發(fā)出旋轉(zhuǎn)光束，在作業(yè)地塊上方形成一個(gè)光面，此光面就是平整土地的基準(zhǔn)平面。激光接收器安裝在鏟運(yùn)機(jī)伸縮桿上。當(dāng)接收器檢測(cè)到激光信號(hào)后，不斷向控制箱發(fā)送信號(hào)。通過發(fā)射器和接收器保持在同一水平線上，來控制刮土鏟的高度。
種植大戶普遍會(huì)遇到土地不平整的問題，有的地塊水平落差達(dá)到了30厘米，給施肥、灌溉增加了成本?！艾F(xiàn)在都積極響應(yīng)滴水灌溉，承包的土地常常都高低不平，人工平整太過繁瑣且耗時(shí)長(zhǎng)，用激光平整機(jī)方便又快速，適合我們以水稻種植為主的地區(qū)?！碧萍意{駛著拖拉機(jī)正在田間進(jìn)行平整作業(yè)，只見他油門一踩，方向一打，十幾分鐘就完成兩畝田的翻耕，最后，唐家恂再用激光平整機(jī)將有機(jī)肥鏟平，這樣一塊富有營(yíng)養(yǎng)的稻田便耕出來了。
據(jù)介紹，該激光平整機(jī)在駕駛室可以實(shí)時(shí)顯示田塊平整信息，作業(yè)效率高，平整后的耕地高低誤差為2厘米，可以有效改善農(nóng)田表面狀況，提高農(nóng)田灌溉水的利用率，較好控制雜草和蟲害，提高化肥使用效率，減少環(huán)境污染，實(shí)現(xiàn)科學(xué)高效種田?！坝眠@臺(tái)平整機(jī)，不一會(huì)兒功夫土地就平整了，以前我們耕田的時(shí)候，要將土撬來撬去，現(xiàn)在種田也是‘智慧活’，還是得靠年輕人呀?！苯切辨?zhèn)灘河村村民唐德富感慨道。
如今，越來越多的人往鄉(xiāng)村跑，錢往鄉(xiāng)村投，勁往鄉(xiāng)村使。智慧農(nóng)業(yè)的推廣，在洗去農(nóng)民身上泥土的同時(shí)，也讓農(nóng)民搭上了增收致富的科技快車。“現(xiàn)代化的‘職業(yè)農(nóng)民’，絕不是老輩人所說的‘面朝黃土背朝天’，而應(yīng)是‘愛農(nóng)業(yè)、懂技術(shù)、擅管理、精經(jīng)營(yíng)’，充滿現(xiàn)代感和職業(yè)感的節(jié)奏?！碧萍意χf。
（來源：海安縣委宣傳部）
發(fā)布時(shí)間 : 2018-04-24
投資90億 納思達(dá)投建激光打印機(jī)智能制造項(xiàng)目
總部位于珠海的上市公司納思達(dá)(002180)4月19日晚公告：公司與珠海高欄港管委會(huì)擬簽訂投資協(xié)議，擬按計(jì)劃分階段在高欄港管委會(huì)轄區(qū)建設(shè)激光打印機(jī)高端裝備智能制造項(xiàng)目，總投資約90億元，總建設(shè)期約8年。項(xiàng)目全部達(dá)產(chǎn)后，力爭(zhēng)實(shí)現(xiàn)年產(chǎn)打印機(jī)約400萬臺(tái)、年產(chǎn)值約200億元、年稅收約5億元的目標(biāo)。珠海市政府及高欄港管委會(huì)將分別為一期、二期項(xiàng)目提供扶持資金8億元、4億元。
高欄港經(jīng)濟(jì)區(qū)黨委副書記、管委會(huì)常務(wù)副主任趙適劍
與納思達(dá)股份有限公司董事兼總裁嚴(yán)偉分別代表雙方簽署項(xiàng)目投資協(xié)議
珠海市委副書記、市長(zhǎng)姚奕生，副市長(zhǎng)蘆曉鳳，高欄港經(jīng)濟(jì)區(qū)黨委書記、管委會(huì)主任姜建平等出席并見證簽約。高欄港經(jīng)濟(jì)區(qū)黨委副書記、管委會(huì)常務(wù)副主任趙適劍與納思達(dá)股份有限公司董事兼總裁嚴(yán)偉分別代表雙方簽署項(xiàng)目投資協(xié)議。
納思達(dá)董事長(zhǎng)汪東穎表示，納思達(dá)作為打印管理服務(wù)的全球領(lǐng)導(dǎo)者，是國(guó)家集成電路產(chǎn)業(yè)基金（國(guó)家大基金）參股的第一家中國(guó)A股上市公司，2017年?duì)I業(yè)額215億元。其擁有的奔圖打印機(jī)被列入關(guān)鍵領(lǐng)域國(guó)產(chǎn)替代計(jì)劃的產(chǎn)品，填補(bǔ)中國(guó)自主技術(shù)激光打印機(jī)產(chǎn)業(yè)的空白。2016年底，該公司以39億美金聯(lián)合全資收購(gòu)紐交所上市公司。為積極響應(yīng)國(guó)家“中國(guó)制造”政策號(hào)召，并在未來5年內(nèi)進(jìn)入全球激光打印機(jī)前三甲的目標(biāo)，在珠海市各級(jí)政府領(lǐng)導(dǎo)的重視支持及高欄港區(qū)政府的高效溝通服務(wù)下，納思達(dá)計(jì)劃建設(shè)激光打印機(jī)高端裝備智能制造項(xiàng)目，該項(xiàng)目的建設(shè)將有力支持和落實(shí)國(guó)家自主創(chuàng)新戰(zhàn)略，進(jìn)一步加強(qiáng)珠江西岸高端裝備制造的陣容，為大灣區(qū)的經(jīng)濟(jì)增長(zhǎng)添磚加瓦。
近日納思達(dá)披露了2018年第一季度業(yè)績(jī)預(yù)告，公告顯示納思達(dá)業(yè)績(jī)向好，在2018年一季度同比有望扭虧為盈，實(shí)現(xiàn)凈利潤(rùn)2,000萬元至1.2億元。這個(gè)納思達(dá)其實(shí)就是2016年上演商界蛇吞象、39億美元收購(gòu)利盟的珠海艾派克。
賽納、納思達(dá)、艾派克、奔圖隸屬賽納打印科技股份有限公司
公告顯示，納思達(dá)預(yù)計(jì)業(yè)績(jī)同比扭虧為盈主要原因是原有打印機(jī)芯片和耗材業(yè)務(wù)利潤(rùn)增加，利盟打印機(jī)業(yè)務(wù)虧損大幅減少，并且利盟2017年出售了企業(yè)軟件業(yè)務(wù)，進(jìn)一步降低虧損額。
位于納思達(dá)總部的奔圖打印機(jī)展廳
奔圖最新激光一體機(jī)
奔圖行業(yè)專用支票打印機(jī)
賽納全彩3D打印機(jī)
賽納3D打印機(jī)歷程
我們看到，納思達(dá)已經(jīng)完成了從國(guó)產(chǎn)兼容耗材企業(yè)到原廠打印機(jī)生產(chǎn)研發(fā)銷售一體化的轉(zhuǎn)變，擁有超過3200個(gè)專利，技術(shù)儲(chǔ)備已經(jīng)完成了從芯片、精密制造、光學(xué)、化學(xué)碳粉、高分子功能材料、圖像技術(shù)、軟件等全產(chǎn)業(yè)布局，40億美金收購(gòu)利盟國(guó)際之后，打印機(jī)產(chǎn)品線布局完成了中低端到高端，黑白到彩色，單功能到多功能，而且具備了為國(guó)際品牌代工的生產(chǎn)能力！
2017年針對(duì)醫(yī)療行業(yè)應(yīng)用，賽納發(fā)布全彩3D打印機(jī)，2014年做噴頭技術(shù)、光固化技術(shù)和數(shù)字材料技術(shù)研發(fā)，計(jì)劃2020年進(jìn)入生物打印和植入物領(lǐng)域！
目前看整個(gè)納思達(dá)集團(tuán)具有非常強(qiáng)的資本運(yùn)作能力和技術(shù)研發(fā)實(shí)力，代表中國(guó)制造業(yè)新興企業(yè)的華麗轉(zhuǎn)身！
發(fā)布時(shí)間 : 2018-04-24
執(zhí)法人員采用LaserCam 4手持式高清攝像激光雷達(dá)設(shè)備
據(jù)外媒報(bào)道，Kustom Signals宣布其LaserCam 4獲得認(rèn)證，因?yàn)樵摽町a(chǎn)品符合佛羅里達(dá)州行政法典15B-2.014法規(guī)的最低設(shè)計(jì)標(biāo)準(zhǔn)，并入選2015版IACP合格產(chǎn)品清單（Conforming Product List）。
LaserCam 4是Kustom Signals推出的第四代手持式攝像激光雷達(dá)（hand-held video LIDAR），由ProLaser 4驅(qū)動(dòng)，其性能卓越。LaserCam 4所提供的目標(biāo)物探查范圍較廣、采集時(shí)間（acquisition time）短、距離較遠(yuǎn)時(shí)圖版清晰度高，可提供綜合性的超速（Speed Enforcement）視頻記錄及目標(biāo)追蹤歷史記錄。
LaserCam 4可持續(xù)縮放追蹤的目標(biāo)物、優(yōu)化特定目標(biāo)物速度測(cè)量的視頻記錄、優(yōu)化用戶體驗(yàn)，該視頻記錄將成為有力物證，記錄超速、未系安全帶、開車時(shí)使用手機(jī)或其它交通安全違規(guī)行為，使違規(guī)者無法抵賴。
LaserCam 4可通過無線網(wǎng)絡(luò)打印功能，將圖像發(fā)送到Bluetooth打印機(jī)處予以打印，作為罰單使用。用戶可選擇快照模式，將顯示屏上的數(shù)據(jù)打印出現(xiàn)，每張罰單上會(huì)有一到兩張配圖，并標(biāo)注GPS坐標(biāo)、公布的車速限制標(biāo)準(zhǔn)、測(cè)得的車速及目標(biāo)物的行駛里程數(shù)、設(shè)備序列號(hào)、操作人員的身份標(biāo)識(shí)及時(shí)間戳?。╰ime stamp）。
該設(shè)備配置了一款8.1 cm（約3.2英寸）的高清顯示屏，直觀的用戶觸屏控制件使LaserCam 4操控簡(jiǎn)單易用。該設(shè)備支持多種語言，下拉菜單可供用戶進(jìn)行簡(jiǎn)單設(shè)置，無需送回廠商處進(jìn)行重新編程。此外，該款設(shè)備還提供了三腳架選配件。
LaserCam 4正在被全球的執(zhí)法機(jī)構(gòu)所采用，證明了該款設(shè)備在交通違規(guī)取證方面的性能表現(xiàn)不俗，獲得了業(yè)內(nèi)機(jī)構(gòu)的認(rèn)可。
作者：李文龍
發(fā)布時(shí)間 : 2018-04-23
彼得·貝內(nèi)特：助推全球頂尖激光制版技術(shù)在漢產(chǎn)業(yè)化
彼得·貝內(nèi)特在中英聯(lián)合研究中心
“彼得·貝內(nèi)特不僅來武漢光谷創(chuàng)業(yè)，實(shí)現(xiàn)最新激光綠色印刷技術(shù)產(chǎn)業(yè)化，還推動(dòng)與湖北工業(yè)大學(xué)共建中英聯(lián)合研究中心，產(chǎn)學(xué)研結(jié)合?！?6日，武漢金頓激光科技有限公司創(chuàng)始人劉頓介紹，彼得·貝內(nèi)特目前在英國(guó)，下周就回武漢，作為武漢引進(jìn)的外國(guó)專家，彼得·貝內(nèi)特對(duì)技術(shù)充滿熱情，對(duì)武漢也非常熱愛。
彼得·貝內(nèi)特博士是公司技術(shù)研發(fā)總監(jiān)，今年50多歲，擁有英國(guó)倫敦大學(xué)學(xué)士學(xué)位、牛津大學(xué)博士學(xué)位和布拉福德商學(xué)院工商管理碩士學(xué)位。彼得·貝內(nèi)特在印刷技術(shù)方面的研究始終處于世界頂尖技術(shù)的行列，不少技術(shù)成果還成為行業(yè)通用標(biāo)準(zhǔn)。他曾擔(dān)任柯達(dá)英國(guó)研發(fā)部總監(jiān)，以數(shù)碼CTP技術(shù)幫助柯達(dá)獲得英國(guó)女王企業(yè)獎(jiǎng);也曾是在多個(gè)國(guó)家擔(dān)任印刷制版顧問的“空中飛人”。
2007年，彼得·貝內(nèi)特和英國(guó)利物浦大學(xué)幾名學(xué)者合作，開始一項(xiàng)最新超快激光綠色印刷技術(shù)的研發(fā)，劉頓正是該校激光領(lǐng)域博士，兩人相識(shí)后一拍即合，決定到中國(guó)創(chuàng)業(yè)，成立了武漢金頓激光科技有限公司。同時(shí)，兩人作為湖北省“百人計(jì)劃”特聘專家、“3551光谷人才計(jì)劃”專家，領(lǐng)銜在湖北工業(yè)大學(xué)成立了中英聯(lián)合研究中心。2016年10月，彼得·貝內(nèi)特獲得武漢“黃鶴友誼獎(jiǎng)”。
“超快激光的運(yùn)用和印刷制版的改良都是行業(yè)創(chuàng)舉。”劉頓介紹，每年全球印版使用量大約7億平方米，僅沖版一個(gè)環(huán)節(jié)，就要產(chǎn)生大量腐蝕性廢料，這項(xiàng)技術(shù)可以大大簡(jiǎn)化工藝，減少污染。一旦成規(guī)模投產(chǎn)，能避免使用很多化學(xué)試劑，鋁材、水、電等消耗量也將減少至五分之一甚至更少。
“我們是目前全球唯一研發(fā)此項(xiàng)印刷技術(shù)的團(tuán)隊(duì)?！眲㈩D說，經(jīng)過多年研發(fā)，制版機(jī)和印版已在籌備量產(chǎn)，公司也獲得了第一輪融資。順利投產(chǎn)后，一項(xiàng)改變行業(yè)面貌的技術(shù)將從武漢、光谷走向世界。
劉頓介紹，彼得·貝內(nèi)特很喜歡武漢，他到武漢一年后，就將家人全部從英國(guó)接過來了，“他喜歡坐上公汽去隨意了解這個(gè)城市，東湖磨山、曇華林、漢口江灘、漢街、東西湖等地方都逛遍了。
發(fā)布時(shí)間 : 2018-04-18
光谷年內(nèi)有多家激光企業(yè)上市 銳科激光通過創(chuàng)業(yè)板IPO發(fā)審會(huì)
4月17日，長(zhǎng)江日?qǐng)?bào)記者獲悉，我國(guó)光纖激光器領(lǐng)軍企業(yè)銳科激光順利通過創(chuàng)業(yè)板IPO發(fā)審會(huì)。
目前，在武漢東湖高新區(qū)，除銳科激光，還有帝爾激光在創(chuàng)業(yè)板排隊(duì)IPO，今年，光谷有望新增一批激光領(lǐng)域上市公司，激光產(chǎn)業(yè)進(jìn)入高質(zhì)量發(fā)展期。
據(jù)招股說明書，武漢銳科光纖激光技術(shù)股份有限公司擬發(fā)行新股3200萬股，發(fā)行后總股本12800萬股，赴創(chuàng)業(yè)板上市。此前，有市場(chǎng)報(bào)告認(rèn)為，2017年激光市場(chǎng)最大的贏家之一是光纖激光器，國(guó)內(nèi)光纖激光器主要供應(yīng)商之一的銳科激光已成為行業(yè)龍頭，和第二梯隊(duì)拉開差距。
這家由“海歸”博士閆大鵬創(chuàng)辦的高科技企業(yè)，多年堅(jiān)持自主研發(fā)，打破國(guó)際壟斷。就在閆大鵬舉家從美國(guó)回到武漢的2007年，我國(guó)工業(yè)光纖激光器全部依靠進(jìn)口；11年過去，中國(guó)自主研發(fā)的2萬瓦光纖激光器已推向市場(chǎng)。據(jù)介紹，一臺(tái)進(jìn)口的2萬瓦光纖激光器市場(chǎng)價(jià)格600多萬元，國(guó)產(chǎn)售價(jià)可降低40％。
銳科激光是武漢光谷激光產(chǎn)業(yè)進(jìn)入高質(zhì)量發(fā)展期的典型代表?！鞍l(fā)展是第一要?jiǎng)?wù)，人才是第一資源，創(chuàng)新是第一動(dòng)力”，目前，光谷已聚集200多家激光企業(yè)，2017年激光產(chǎn)業(yè)總收入200億元，同比增長(zhǎng)20％，其中規(guī)上企業(yè)24家，總收入60億元。
東湖高新區(qū)在激光器、工業(yè)激光加工設(shè)備和醫(yī)療激光設(shè)備等方面形成了一批優(yōu)勢(shì)特色產(chǎn)業(yè)，其中激光工業(yè)和激光醫(yī)療獨(dú)樹一幟。華工激光、楚天激光、銳科激光、安揚(yáng)激光、帝爾激光、天琪激光、金運(yùn)激光等企業(yè)，在各自領(lǐng)域具備全國(guó)競(jìng)爭(zhēng)力。
武漢華工激光是我國(guó)最大的激光設(shè)備及高功率激光裝備研發(fā)生產(chǎn)商之一，2017年實(shí)現(xiàn)收入約20億元。華日激光公司紫外激光器產(chǎn)量達(dá)4000臺(tái)，占全國(guó)紫外激光器市場(chǎng)的40％。安揚(yáng)激光研制的百瓦級(jí)全光纖飛秒光纖激光器達(dá)到300微焦300飛秒，該指標(biāo)已全球領(lǐng)先。
在光谷，激光產(chǎn)業(yè)實(shí)現(xiàn)了多個(gè)領(lǐng)域核心技術(shù)的突破，人才集聚是極大優(yōu)勢(shì)。目前，光谷激光產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域已集聚閆大鵬、李成、徐進(jìn)林、華仁忠、陳吉紅等國(guó)家“千人計(jì)劃”人才10余位。
“創(chuàng)新是高質(zhì)量發(fā)展最強(qiáng)動(dòng)力。”東湖高新區(qū)科創(chuàng)局相關(guān)負(fù)責(zé)人表示，銳科激光的發(fā)展正是光谷激光產(chǎn)業(yè)高質(zhì)量發(fā)展的縮影，要搶抓“中國(guó)制造2025”戰(zhàn)略實(shí)施機(jī)遇，進(jìn)一步做強(qiáng)做大光谷激光產(chǎn)業(yè)，光谷還需進(jìn)一步完善光電子信息產(chǎn)業(yè)裝備配套鏈，支持企業(yè)加大創(chuàng)新投入，邁向產(chǎn)業(yè)鏈價(jià)值鏈高端。
據(jù)悉，除了支持相關(guān)企業(yè)上市，光谷激光產(chǎn)業(yè)基金也在組建中，進(jìn)一步強(qiáng)化產(chǎn)業(yè)發(fā)展資本支撐，推動(dòng)企業(yè)進(jìn)一步做大做強(qiáng)，形成一批具有全球影響力的激光領(lǐng)軍企業(yè)。
發(fā)布時(shí)間 : 2018-04-18
據(jù)麥姆斯咨詢報(bào)道，扇出型封裝（fan－out packaging）是應(yīng)用于眾多移動(dòng)應(yīng)用的成熟技術(shù)。早期的半導(dǎo)體封裝一直是單芯片封裝，為支持功能增加導(dǎo)致布線密度越來越大的發(fā)展趨勢(shì)，要求更復(fù)雜的封裝、堆疊封裝（stacked packages）、系統(tǒng)級(jí)封裝（systems inpackage），同時(shí)還要滿足高性能。隨著技術(shù)的發(fā)展，扇出型封裝正在縮小成本與高性能之間的矛盾。無論是為滿足更小尺寸的需求使晶圓變薄，實(shí)現(xiàn)焊料成本的節(jié)約，還是作為重新布線層（redistribution－layer，RDL）首步工藝的工藝平臺(tái)，所有封裝均需要臨時(shí)鍵合（temporary bonding）。
臨時(shí)鍵合需要鍵合（bonding）和剝離（debonding）兩種工藝。從扇出型晶圓級(jí)封裝（fan－out wafer－level packaging，F(xiàn)oWLP）到功率器件，每種應(yīng)用在工藝溫度、機(jī)械應(yīng)力和熱預(yù)算等方面都有獨(dú)特的要求，因此確定合適的剝離技術(shù)比較困難。這里只是枚舉了幾個(gè)例子，實(shí)際情況更為復(fù)雜。我們將在本文中重點(diǎn)討論激光剝離（laser debonding）：如抗高溫更兼容的材料可應(yīng)用于哪些情況，激光剝離的特性適于哪些應(yīng)用等。
為了控制剝離帶來的熱輸入，紫外激光（UV lasers）常被用于剝離不同材料供應(yīng)商提供的不同臨時(shí)鍵合材料。為了確保最低的維護(hù)工作量，二極管泵浦固體激光器（diode－pumped solid－state，DPSS）可將高度工藝控制的光束整形光學(xué)（beam－shaping optics）與最低熱輸入相結(jié)合，不失為是一項(xiàng)正確的選擇。
圖1 Chipfirst扇出型晶圓級(jí)封裝制造工藝流程示意圖
圖2 Chiplast扇出型晶圓級(jí)封裝（又稱RDL first）制造工藝流程示意圖
扇出型晶圓級(jí)封裝（FoWLP）中臨時(shí)鍵合面臨的挑戰(zhàn)
FoWLP能在行業(yè)內(nèi)收獲巨大利益，一定程度上取決于其采用了載板（carrier），臨時(shí)鍵合材料對(duì)化學(xué)和熱兼容性的要求很高。某些聚酰亞胺符合這種嚴(yán)苛的環(huán)境，也適用于激光剝離。
盡管鍵合和剝離都是FoWLP的工藝，但兩者的需求差異很大。通過觀察各種應(yīng)用中不同的半導(dǎo)體工藝，顯然沒有任何一種剝離工藝解決方案可與所有的半導(dǎo)體工藝兼容，多個(gè)解決方案是必然選擇。這就是開發(fā)出的各種各樣的剝離工藝（剝離技術(shù)是臨時(shí)鍵合的特征）至今仍都在使用的原因。
主流剝離技術(shù)的比較
最常見的方法有：熱滑動(dòng)剝離（thermal slide－off debonding）、機(jī)械剝離（mechanical debonding）和紫外激光剝離（UV laser debonding）。這三種方法均適用于大批量生產(chǎn)，在工藝兼容性方面差異巨大。
熱滑動(dòng)剝離（thermal slide－off debonding）是一種利用熱塑材料作為器件與載板晶圓（carrier wafer）之間粘合夾層（adhesive interlayer）的方法。該方法利用了熱塑材料的可逆熱特性，意味著在較高的溫度下，該材料的粘度會(huì)下降，從而能通過簡(jiǎn)單地滑動(dòng)兩邊的晶圓來完成剝離。熱剝離的特點(diǎn)是根據(jù)熱塑材料的溫度特性，使用范圍在130°C到350°C之間，因此在較高的溫度下就可完成鍵合與剝離。溫度穩(wěn)定性在很大程度上取決于機(jī)械應(yīng)力，我們可以觀察到這是由于熱塑材料在高溫下具有低粘度。
機(jī)械剝離（mechanical debonding）是一種高度依賴晶圓表面特性、臨時(shí)鍵合材料的粘附力和內(nèi)聚力的方法。對(duì)于大多數(shù)材料系統(tǒng)，均可使用機(jī)械釋放層（mechanical release layer）來實(shí)現(xiàn)可控剝離。機(jī)械剝離的主要特點(diǎn)是：可在室溫下處理，且強(qiáng)烈依賴機(jī)械應(yīng)力。由于機(jī)械剝離需要在臨時(shí)鍵合材料與晶圓間產(chǎn)生低粘附力才能成功剝離；因此，在FoWLP應(yīng)用中使用這種方法是有些困難的。這是因?yàn)镕oWLP工藝中產(chǎn)生的較高應(yīng)力會(huì)導(dǎo)致自發(fā)性的剝離，甚至在減薄工藝中也會(huì)出現(xiàn)，這就會(huì)導(dǎo)致良率的急劇下滑。
激光剝離（laser debonding）是一種通過幾種不同的變量來實(shí)現(xiàn)剝離的技術(shù)。該方法的剝離機(jī)制依賴于：激光種類、臨時(shí)鍵合膠，以及用于該工藝的特定釋放層。紅外激光剝離依靠熱過程進(jìn)行工作：將光吸收并轉(zhuǎn)化為熱能，從而在鍵合界面內(nèi)產(chǎn)生高溫。紫外激光剝離則通常依靠化學(xué)過程進(jìn)行工作：使用光吸收的能量來破壞化學(xué)鍵。破壞聚合物的化學(xué)鍵會(huì)導(dǎo)致原始聚合物進(jìn)行分解。分解物包括氣體，就會(huì)增加鍵合界面的壓力，因而幫助剝離。由于在剝離工藝前，臨時(shí)鍵合膠對(duì)晶圓具有很高的粘附力，因此這種方法非常適用于FoWLP應(yīng)用中。
扇出型晶圓級(jí)封裝（FoWLP）應(yīng)用的優(yōu)化解決方案
據(jù)麥姆斯咨詢介紹，由于剝離過程中的熱輸入是有限的，因此紫外激光在FoWLP中更具優(yōu)勢(shì)。載板晶圓必須能通過紫外激光的穿透，以確保激光能量的有效利用，延長(zhǎng)載板晶圓的壽命。目前有兩種主要類型的紫外激光（全固態(tài)激光和準(zhǔn)分子激光），每種激光均可選多種波長(zhǎng)。波長(zhǎng)大于300nm的激光是最理想的選擇，出于以下兩個(gè)原因的考量：首先，市場(chǎng)可選用的激光剝離材料的波段可有效吸收和剝離高于300nm波長(zhǎng)的激光；其次，因?yàn)椴Ａ軌蛟谠摬ǘ畏秶鷥?nèi)實(shí)現(xiàn)高傳輸，即該波段激光允許采用標(biāo)準(zhǔn)玻璃晶圓作為載板。
由于全固態(tài)激光無需定期更換鹵素氣體，因此維護(hù)成本較低。而且功耗非常低，以每周工作7天、每天工作24小時(shí)的功耗來計(jì)算，全固態(tài)激光可運(yùn)行5年。此外，由于光學(xué)設(shè)置緊湊，對(duì)實(shí)現(xiàn)更小尺寸的引腳有利。圖3為全固態(tài)激光常見的高斯光束。
圖3 通常全固態(tài)激光要求高脈沖重疊。重疊區(qū)域表示激光剝離中所使用的輻射照射（radiant exposure），而紅色區(qū)域則表示不能用于剝離的能量
紫外激光剝離對(duì)輻射能量有閾值要求，這意味著在輻射照射特定值以上發(fā)生剝離。在圖3中，重疊區(qū)表示輻射照射適于剝離。低于或高于該值的能量（圖中紅色區(qū)域）均不能剝離，通常就轉(zhuǎn)化為熱能，這就會(huì)導(dǎo)致碳化和產(chǎn)生粒子。由于在高斯分布邊緣的激光束缺少足夠的能量，所以必須有一定的脈沖重疊，這時(shí)額外的變量?jī)?yōu)化是必須的，以便在沒有碳化時(shí)成功剝離。此外，光束中心的多余能量會(huì)導(dǎo)致碳化。高斯分布的光束不適合限制剝離中的熱效應(yīng)。
通過使用專用光學(xué)裝置進(jìn)行光束整形，高斯光束可被整形成近top hat光束。通過使用這種光學(xué)裝置，可得到用于剝離的重復(fù)性好的光束，形貌與圖4中top hat光束相似（在此基礎(chǔ)上，光束的形狀不會(huì)隨時(shí)間而改變），從而限制熱輸入。與這種激光的高脈沖重復(fù)率相結(jié)合，就可實(shí)現(xiàn)更嚴(yán)格的工藝控制，并且能夠掃描固定晶圓的表面，從而實(shí)現(xiàn)剝離工藝的高產(chǎn)出。圖5描繪了掃描過程，與準(zhǔn)分子激光相比，晶圓固定在靜止的載臺(tái)上，激光點(diǎn)由晶圓上方的掃描振鏡（galvo scanner）控制，整個(gè)剝離過程速度較快，可以實(shí)現(xiàn)高產(chǎn)出。
圖4 先進(jìn)的紫外激光解決方案，利用光束整形光學(xué)將高重復(fù)性掃描與激光能量效率相結(jié)合。在重疊區(qū)域中，用于剝離的輻射照射效率非常高
圖5 EVG激光剝離解決方案，是將全固態(tài)激光與光束整形光學(xué)結(jié)合起來，以實(shí)現(xiàn)高產(chǎn)出的可控過程
如圖6所示，測(cè)試晶圓被用于確定剝離的最佳輻射照射值。即使是top hat光束，為減少熱效應(yīng)，輻射照射值接近于剝離閾值是非常重要的。盡管如此，較少的重疊部分也是必要的，因?yàn)榕R時(shí)鍵合材料與晶圓間的粘附力非常高。
圖6 用于激光剝離的測(cè)試晶圓，不同的軌道代表了不同激光的剝離效果
未來扇出型晶圓級(jí)封裝（FoWLP）的臨時(shí)鍵合
超薄扇出堆疊型封裝（FoWLP），也被稱為層疊封裝（Package on package，PoP），由于此類封裝能大幅提高器件密度，目前已被納入多種應(yīng)用的技術(shù)路線圖之中。然而，未來PoP對(duì)重新建構(gòu)晶圓（reconstituted wafers）要求厚度更薄，這將為臨時(shí)鍵合帶來更多挑戰(zhàn)。例如，由注塑（molded）晶圓與載板晶圓堆疊組成的臨時(shí)鍵合晶圓的彎曲度（bow）必須最小化，以確保減薄均勻。最大總厚度變化（TTV）的規(guī)范也會(huì)根據(jù)最終晶圓的厚度變得更嚴(yán)格。對(duì)于不同的3D應(yīng)用，涉及連線的問題，如選擇“via first”還是“via last”，在PoP中也變得多了起來。雖然有多個(gè)工藝可選，但沒有哪家扇出型封裝企業(yè)已具備標(biāo)準(zhǔn)的工藝流程。
總結(jié)
由于紫外激光可在室溫下進(jìn)行剝離，且可以使用化學(xué)性質(zhì)穩(wěn)定的材料，因此紫外激光剝離是一種既適用于chip first，也適用于chip last（或RDL－first）扇出型晶圓級(jí)封裝（FoWLP）的方法。本文介紹的紫外激光剝離解決方案不僅結(jié)合了全固態(tài)激光的優(yōu)點(diǎn)，具有維護(hù)成本低、功耗低的優(yōu)點(diǎn)，由于特殊的光束整形光學(xué)，還實(shí)現(xiàn)了高脈沖頻率與高空間控制的結(jié)合。
發(fā)布時(shí)間 : 2018-04-16
